【真空镀膜机之辅助抽气系统】真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三da部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。空心阴极霍尔离子源可用于制备高质量的单晶材料。湖北光纤镀膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家
【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前,要注意检漏。方法:启动维持泵,关好da门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。江西塑胶镀膜空心阴极霍尔离子源空心阴极霍尔离子源可用于制备高性能的电子器件和光电器件。
【如何减少真空镀膜的灰尘】1、使用的源材料要符合必要的纯度要求。2、样品取出后放置环境要注意清洁的问题。3、镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理。4、清洗衬底材料,必须要做到严格合乎工艺要求。5、工作人员有专门的服装,操作要戴手套、脚套等。6、适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。7、技术上明确允许的较da颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限da致是多少。8、室内空气流动性低、地面干净,如果是裸露的水泥地,需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。
【常见的真空材料表面上的污染物类型】1、油脂:加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;2、酸、碱、盐类物质:清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等;3、表面氧化物:材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物;4、水基类:操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等;5、抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。清洗这些污染物的目的是为了改进真空镀膜机的工作稳定性,使工作能够更加顺利的进行。清洗后的表面根据要求分为原子级清洁表面和工艺技术上的清洁表面两类。在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜前,对镀膜材料做简单的表面清洁可以延长镀膜机的使用寿命。因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。前期到位的清洗工作可以减少许多麻烦,避免许多小问题的发生,对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有十分积极的作用。可dada提高真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。真空镀膜机真空度多少?
【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性,以da范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多种多样,我们要一一的解决这些原因,稳定镀膜的效果。空心阴极霍尔离子源是一种高效的离子源,可用于各种离子束应用。天津真空镀膜空心阴极霍尔离子源自主研发设计生产
真空镀膜机的操作培训。湖北光纤镀膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家
【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。湖北光纤镀膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家